과학자들은 이트리아 안정화 지르코니아(YSZ) 기반 전기화학 센서의 크기 및 고온 문제를 해결하기 위해 전극 재료로 인듐 주석 산화물(ITO)을 탐색하고 있습니다. 그들은 SrTiO3 기판에서 기준 전극으로 Cu-Cu2O, 작동 전극으로 ITO를 구성한 박막 다층 YSZ 산소 센서를 테스트했습니다.
이 센서는 기준선 드리프트 없이 623K의 낮은 온도에서 10~824ppm의 산소 수준을 감지했습니다. 연구자들은 동적 2차 이온 질량 분석법(D-SIMS)을 사용하여 ITO와 YSZ 사이의 이온 확산을 연구하여 인듐과 주석 이온의 경우 20nm 깊이 내에서 상당한 농도 변화를 발견했습니다. 고온 증착 후에도 ITO와 YSZ 사이의 날카로운 계면은 높은 교환 전류 밀도를 보였으며, 이는 온도에 따라 상당히 감소했습니다. D-SIMS의 높은 깊이 분해능과 감도는 이러한 계면을 분석하는 데 중요했으며, 센서 소재를 최적화하기 위한 통찰력을 제공했습니다.
자세한 내용은 전체 애플리케이션 노트를 다운로드하여 확인하세요.:
D-SIMS Analysis of Electrochemical Sensors
지금 읽기