Научные приборы
для исследований
Компания CAMECA instruments предоставляет данные о химическом и изотопном составе поверхностных, околоповерхностных и внутренних областей твердых веществ, величиной от микрона и менее, вплоть до субнанометрических размеров, а также оснащает оборудованием наиболее престижные государственные и университетские лаборатории, равно как и ведущие высокотехнологичные промышленные компании по всему миру.
Аналитические методы включают SIMS, EPMA и APT, и охватывают широкий спектр применений:
• Материалы (металлы, сплавы, покрытия, магнитострикционные многомолекулярные слои, поликристаллы, керамику, стекло, радиоактивные материалы; сегрегация, коррозия, контаминация…)
• Полупроводники, LED, PV (тонкие пленки, полисиликон, материалы для фотовольтаики, диселенид галлия-индия-меди, профилирование имплантантов по глубине…)
• Землеведение и планетоведение (геохронология, минералогия, геохимия, экологические исследования, анализ стабильных изотопов и следовых элементов, экспертно-технический анализ ядерных материалов и радиоактивного загрязнения...)
• Медико-биологические науки (клеточная и микробиология, экология почвенных микроорганизмов, филогенетическая модификация, обнаружение молекул в местах их нахождения на внутриклеточном уровне…)
|
Метрологические инструменты
для полупроводников
Компания CAMECA разрабатывает оборудование для метрологии на производстве и в лабораториях, основанное на аналитических методах LEXES и
SIMS. Благодаря
соответствию требованиям,
связанным как с быстрой разработкой
приборов, так и с
высокой
производительностью
по их массовому
производству, нашим
продуктам удалось получить признание лучших производителей полупроводников по всему миру.
Контролируются основные параметры и процессы, включая
следующие: химический состав и толщина питательной среды, HKMG, эпитаксиальные слои, такие как B:
кремний-германиевая МЛЭ, поверхностные имплантанты, дозиметрия допирующих элементов, составление карты годности кристаллов на пластине, сигнатурный анализ, определение зависимостей в данных…
|
О компании CAMECA
Начиная со дня своего основания в 1929 г., компания CAMECA прошла путь от производителя
научных приборов для международного сообщества исследователей до поставщика метрологических решений для полупроводниковой индустрии. Компания CAMECA являлась первопроходцем в этом направлении, и ей удалось разработать несколько ведущих микроаналитических методик:
• Масс-спектрометрия вторичных ионов (SIMS),
• Томография с помощью атомного зонда (APT),
• Электронно-зондовый микроанализ (EPMA),
• Рентгеновская эмиссионная спектроскопия, индуцированная электронами малой энергии
(LEXES)
В 2007 г. компания CAMECA присоединилась к компании AMETEK, Inc., ведущему мировому поставщику электронных и электромеханических изделий, как часть AMETEK Materials Analysis Division
(Подразделение по анализу материалов компании
AMETEK). Штаб-квартира компании находится неподалеку от Парижа, Франция. Компания CAMECA имеет свои
филиалы
в США, Германии, Японии, Корее, Китае, Тайване, а также глобальную сеть агентов, обеспечивающих наилучший уровень поддержки для всех пользователей.
|