Instrumentos de Pesquisa
Científica
Os instrumentos CAMECA fornecem dados de composição elementar e isotópica sobre a superfície, próximo à superfície e interface dos materiais sólidos, de mícrons à escala subnanométrica e equipa os mais prestigiados governos e laboratórios de universidades assim como líderes das empresas na indústria de alta tecnologia em todo o mundo.
Técnicas analíticas incluem SIMS, EPMA e APT, cobrindo uma vasta gama de aplicações:
• Materiais (metais, ligas, revestimentos, multicamadas
magnetostritivas, policristalinos, cerâmicas, vidro, materiais radioativos, segregação, corrosão, contaminação…)
• Semicondutores, LED, PV (filmes finos, polisilicone, fotovoltaicos, CIGS, perfis de profundidade de implantes...)
• Ciências Planetárias e da Terra (geocronologia, mineralogia, geoquímica, estudos ambientais, isótopos estáveis e análise de elementos traça, ciência forense nuclear…)
• Ciências Humanas (celular e microbiologia, ecologia microbiana do solo, identificação filogenética, detenção in-loco de moléculas a nível intra-celular…)
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Ferramentas de Metrologia
para Semicondutores
A CAMECA desenvolve equipamentos de metrologia de linha e próximos com base nas técnicas analíticas LEXES e SIMS. Cumprindo os requisitos de rápido desenvolvimento e produção em massa com alto rendimento, as nossas ferramentas foram adotadas pelos melhores fabricantes de semicondutores a nível mundial.
Os principais problemas de controle de processo são destinados a: composição química e espessura de substratos, HKMG, camadas epitaxiais como B.SiGe, implantes superficiais, dosimetria dopante, mapeamento de pastilha, análise de assinaturas, reconhecimento de padrões...
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Sobre CAMECA
Desde a sua criação em 1929, CAMECA tem evoluído de um fabricante de instrumentação científica para a comunidade científica internacional para um provedor de soluções de metrologia para a indústria de semicondutores. A CAMECA foi pioneira e se aperfeiçoou em várias das principais técnicas de microanálise:
• Espectrometria de massa de íons secundários (SIMS),
• Tomografia de Sonda Atômica (APT),
• Microanálise de Sonda de Elétrons (EPMA),
• Espectroscopia de emissão de raio-X de elétron induzida de baixa energia (LEXES)
Em 2007, a CAMECA se uniu à AMETEK, Inc., provedor mundial líder de produtos eletrônicos e eletromecânicos, como parte da AMETEK Divisão de Análise de Materiais. Sediada perto de Paris, França, a CAMECA tem subsidiárias nos EUA, Alemanha, Japão, Coréia, China, Taiwan e uma rede global de agentes garantindo o melhor nível de apoio a todos os usuários.
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