R&D
초정밀 분석 장비
CAMECA의 초정밀 분석 장비는 마이크로 단위에서 초미세 나노 단위에 이르는 정량 원소 분석과 동위 원소 분석 솔루션을 제공하고 있으며 세계 주요 정부와 대학 연구소 및 유수 기업에 최상의 설비를 공급하여, 전 세계 하이테크 산업을 선도하고 있습니다.
SIMS, EPMA 및 APT - 하이테크 분석 기술을 기반으로 다양한 분야에서 최적의 솔루션을 제공하고 있습니다.
• 소재: 금속, 합금, 코팅, 자왜 적층, 다결정체, 세라믹, 유리, 방사성 소재, Segregation,, 부식, 오염 등
• 반도체, LED, PV(폴리실리콘, 결정형 실리콘, 박막, CIGS, Implant 등)
• 지구 및 행성 과학: 지질 연대학, 광물학, 지구 화학, 환경 연구, 안정 동위 원소 및 미량 원소 분석, 핵 법의학 등
• 생명 과학: 세포 및 미생물학, 토양 미생물 생태학, 계통 발생적 분류, 세포 내 분자 원위치 탐지 분석 등
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In-Line
반도체 계측 장비
CAMECA는 LEXES 및 SIMS 분석 기술을 기반으로 Fab에서 사용하실 수 있는 계측 장비를 공급하고 있습니다. 당사의 제품은 대량 생산에 대응할 수 있도록 고속의 계측 장비를 개발하여 세계 유수의 반도체 제조사들이 최적의 솔루션으로 사용하고 있습니다.
합성박막의 원소 및 두께, HKMG, 에피택시 계층(B:SiGe), Shallow Implant, 성분 분석에 대한 솔루션을 웨이퍼 매핑, 잔류물 분석, 패턴 인식 등을 통해 자동제어로 구현합니다.
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CAMECA 소개
1929년 세계 여러 나라의 주요 연구 지원을 위한 정밀과학 장비 제조업체로 출범한 CAMECA는 현재 최첨단의 반도체 계측 솔루션 공급업체로 성장하여 초정밀 정량 분석 기술을 개척 및 발전시켜 왔습니다.
• SIMS(이차 이온 질량 분석),
• APT(3차원 원자 형상 분석),
• EPMA(전자 탐침 미소 분석),
• LEXES(저에너지 특성 X선 분석)
2007년 CAMECA는 AMETEK Materials Analysis Division의 일원으로 전 세계 전자 및 전기 기계 제품의 주요 공급업체인 AMETEK, Inc.와 합병했습니다. 프랑스 파리 인근에 본사가 있는 CAMECA는 미국, 독일, 일본, 한국, 중국, 대만 소재 자회사 및 글로벌 대리점 망을 통해 모든 사용자들에게 최상의 지원을 보장합니다.
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